Фоторезист позитивный ФП-383
ТУ 6-14-632-86
№ |
Наименование параметра |
Значение |
1 |
Внешний вид |
прозрачная жидкость красно-коричневого цвета без осадка |
2 |
Относительная скорость фильтрации фоторезиста, отн. ед., не более |
2 |
3 |
Массовая доля воды, %, не более |
0,6 |
4 |
Массовая доля сухого остатка, %, в пределах |
19,0-22,0 |
5 |
Массовая доля нафтохинондиазидных групп в пересчете на сухой остаток, %, в пределах |
11,5-15,0 |
6 |
Кинематическая вязкость при (20±0,5)°С, в пределах |
6,0-6,5 |
7 |
Внешний вид пленки фоторезиста |
прозрачная, блестящая без разрывов |
8 |
Разрешающая способность (минимальная ширина воспроизводимого элемента), мкм |
2,0±0,3 |
9 |
Толщина пленки, мкм |
1,1±0,1 |
10 |
Устойчивость пленки фоторезиста к проявителю, с, не менее |
180 |
11 |
Маскирующие свойства пленки фоторезиста в буферном травителе, проколов/мм2, не более |
0,10 |
Гарантийный срок хранения - 6 месяцев.
Применяется для выполнения фотолитографии в производстве полупроводниковых приборов и схем, металлизированных шаблонов, печатных плат. Представляет собой раствор светочувствительного о-нафтохинондиазида и фенолоформальдегидных смол в диоксане.
Гончарова Наталья | Тел.: 8 (910) 790-12-68 Тел./факс: 8 (8313) 26-52-69 ICQ: 642-427-616 e-mail: nv@vita-reaktiv.ru |
Написать отзыв
Ваше Имя:Ваш отзыв: Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст.
Оценка: Плохо Хорошо
Введите код, указанный на картинке: