Фоторезист позитивный ФП-383

ТУ 6-14-632-86

Наименование параметра

Значение

1

Внешний вид

прозрачная жидкость красно-коричневого цвета без осадка

2

Относительная скорость фильтрации фоторезиста, отн. ед., не более

2

3

Массовая доля воды, %, не более

0,6

4

Массовая доля сухого остатка, %, в пределах

19,0-22,0

5

Массовая доля нафтохинондиазидных групп в пересчете на сухой остаток, %, в пределах

11,5-15,0

6

Кинематическая вязкость при (20±0,5)°С, в пределах

6,0-6,5

7

Внешний вид пленки фоторезиста

прозрачная, блестящая без разрывов

8

Разрешающая способность (минимальная ширина воспроизводимого элемента), мкм

2,0±0,3

9

Толщина пленки, мкм

1,1±0,1

10

Устойчивость пленки фоторезиста к проявителю, с, не менее

180

11

Маскирующие свойства пленки фоторезиста в буферном травителе, проколов/мм2, не более

0,10

Гарантийный срок хранения - 6 месяцев.

Применяется для выполнения фотолитографии в производстве полупроводниковых приборов и схем, металлизированных шаблонов, печатных плат. Представляет собой раствор светочувствительного о-нафтохинондиазида и фенолоформальдегидных смол в диоксане.

Гончарова Наталья Тел.: 8 (910) 790-12-68
Тел./факс: 8 (8313) 26-52-69
ICQ: 642-427-616
e-mail: natali@vitahim.ru

Написать отзыв

Ваше Имя:


Ваш отзыв: Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст.

Оценка: Плохо           Хорошо

Введите код, указанный на картинке:



ВитаРеактив © 2017 vita-reaktiv.ru

Работаем только с юридическими лицами и только по безналичному расчету

Яндекс.Метрика